بررسی فناوریهای MEMS و NEMS: کوچکترین دستگاهها با بیشترین تأثیر
فناوریهای MEMS و NEMS با ارائه راهکارهایی نوآورانه در مقیاس کوچک، انقلابی در بسیاری از صنایع ایجاد کردهاند. در این مقاله، به اصول، کاربردها، و آینده فناوریهای MEMS و NEMS خواهیم پرداخت.